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微型压力传感器薄膜凹槽的制造技术

发布日期:2020-06-20 18:03

  压力薄膜及凹槽是微型压力传感器中的关键部分,其制造方法主要有两种:1)对体硅进行选择性移除的体加工;2)对表面淀积的牺牲层进行选择性移除的表面加工.针对薄膜凹槽的...

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