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压阻式压力传感器的压力测量实验

发布日期:2020-11-15 08:05

  压阻式压力传感器的压力测量实验 一、 实验目的: 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 二、 基本原理: 扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出 P 型或N 型电阻条, 接成电桥。 在压力作用下根据半导体的压阻效应, 基片产生应力,电阻条的电阻率产生很大变化, 引起电阻的变化, 我们把这一变化引入测量电路, 则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。 三、 需用器件与单元: 压力源(已在主控箱)、 压力表、 压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、 流量计、 三通连接导管、 数显单元、 直流稳压源±4V、±15V。 四、 实验步骤: 1、 根...

  压阻式压力传感器的压力测量实验 一、 实验目的: 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 二、 基本原理: 扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出 P 型或N 型电阻条, 接成电桥。 在压力作用下根据半导体的压阻效应, 基片产生应力,电阻条的电阻率产生很大变化, 引起电阻的变化, 我们把这一变化引入测量电路, 则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。 三、 需用器件与单元: 压力源(已在主控箱)、 压力表、 压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、 流量计、 三通连接导管、 数显单元、 直流稳压源4V、15V。 四、 实验步骤: 1、 根据图 2-1 连接管路和电路, 主控箱内的气源部分, 压缩泵、 贮气箱、流量计主控箱内部已接好。 将压力表放置传感器支架上, 三通连接管中硬管一 端插入主控板上的气源快速插座中(注意管子拉出时请用手按住气源插座边缘往内压, 则硬管可轻松拉出)。 其余两根软导管分别与标准表和压力传感器接通。这里选用的差压传感器两只气咀中, 一只为高压咀, 另一只为低压咀。 本实验模板连接见图 2-2, 压力传感器有 4 端: 3 端接+4V 电源, 1 端接地线 端顺序排列见图 2-2。 端接线颜色通过观察传感器引脚号码判别。 图 2-1 压阻式压力传感器测量系统 2、 实验模板上 Rw2用于调节零位, Rw2可调放大倍数, 按图 2-2 接线, 模板 的放大器输出 V02引到主控箱数显表的 Vi插座。 将显示选择开关拨到 20V 档,反复调节 Rw2(Rw1旋到满度的 1/3)使数显表显示为零。 3、 先松开流量计下端进气口调气阀的旋钮, 开通流量计。 图 2-2 压力传感器压力实验接线、 合上主控箱上的气源开关 K3, 启动压缩泵, 此时可看到流量计中的滚珠浮起悬于玻璃管中。 5、 逐步关小流量计旋钮, 使标准压力表指示某一刻度。 6、 仔细地逐步由小到大调节流量计旋钮, 使在 4~14KP 之间每上升 1KP分别读取压力表读数, 记下相应的数显表值列于表(2-1) 表(2-1)压力传感器输出电压与输入压力值 P(KP) V0(p-p) 7、 计算本系统的灵敏度和非线、 如果本实验装置要成为一个压力计, 则必须对电路进行标定, 方法如下:输入 4KPa 气压, 调节 Rw2(低限调节)使数显表显示 0.400V, 当输入 12KPa 气压,调节 Rw1(高限调节), 使数显表显示1.200V 这个过程反复调节直到足够的精度即可。 五、 思考题: 利用本系统如何进行真空度测量?

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